Micro Probe Station
Imina Technologies 緊湊型解決方案套件（PC15-4B）採用4個超小尺寸miBot™即我們的壓電驅動移動機器人，能夠以毫米級的分辨率獨立定位電子探頭，多功能，便攜，該解決方案的組件旨在最大限度地減少其在實驗裝置上的佔地面積，並在直立和倒置光學顯微鏡，真空室，探針台，AFM，光學麵包板等下無縫安裝，該系統與Imina Technologies 顯微鏡套件（MK18-MAN-4B）集成，成為微米級樣品和設備的電氣測試和表徵的交鑰匙解決方案。直觀而安全miBot™通過Precisio™軟件應用程序的控制板直觀地進行參數化和移動，從而進行實驗微米級微風，降低了損壞敏感樣品的風險。完全集成Precisio™軟件顯微鏡模塊提供常見的硬件設置，如亮度，增和變焦以及功能像圖像快照和註釋，尺寸測量和視頻記錄。

系統
顯微鏡：光學分辨率：約1.1微米，工作距離：33.5毫米 整體放大倍率：2.8x至35.5x 通過電動變焦調節（物鏡mag：10x）可調強度的同軸照明（LED）相機：1920 x 1200像素，USB 3.0 通過亞微米螺絲調焦（範圍：28 mm）
樣品定位：手動XY平台，行程範圍：10 mm x 10 mm分辨率：0.5 mm / rev
樣本量：Ø25.4毫米（1英寸）
電動探頭
探頭數量：4 miBot™（BT-14）自由程度：4每個探針獨立地驅動（X，Y，qŽ，Z）
運動：壓電模式：踩踏最大。速度：2.5 mm / s（X，Y），150 mrad / s（Z）範圍：20 x 20 mm 2（X，Y），±180°（q ），42°（Z）ž  定位分辨率：50 nm（X，Y），120 nm（Z）在機器人末端執行器測量。
探針提示：與0.51 mm（0.020“）柄徑和各種尖端半徑（5 nm - 10 um）的探頭尖端兼容。